- Glove-Box zur Herstellung organischer Halbleiterbauelemente
- Hochvakuum-Aufdampfanlage
- Sputteranlage
- Halbleiter-Messplatz für Wafer bis 200mm Durchmesser
- Parameter-Messplatz zur Charakterisierung elektronischer Bauelelmente
- AFM (Atomic Force Microscope)
- Schichtdickenmessgerät
- Schaltungssimulatoren PSpice zur Entwicklung, Modellierung und Simulation analoger Schaltungen.
- Device-Simulator Atlas
- übliche Ausstattung mit PCs, Workstations und Labormessgeräten
Letzte Änderung: 15. März 2021